Photoluminescence-based detection of particle contamination on extreme ultraviolet reticles
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Terbium-based extreme ultraviolet multilayers.
We have fabricated periodic multilayers that comprise either Si/Tb or SiC/Tb bilayers, designed to operate as narrowband reflective coatings near 60 nm wavelength in the extreme ultraviolet (EUV). We find peak reflectance values in excess of 20% near normal incidence. The spectral bandpass of the best Si/Tb multilayer was measured to be 6.5 nm full width at half-maximum (FWHM), while SiC/Tb mul...
متن کاملstudy of hash functions based on chaotic maps
توابع درهم نقش بسیار مهم در سیستم های رمزنگاری و پروتکل های امنیتی دارند. در سیستم های رمزنگاری برای دستیابی به احراز درستی و اصالت داده دو روش مورد استفاده قرار می گیرند که عبارتند از توابع رمزنگاری کلیددار و توابع درهم ساز. توابع درهم ساز، توابعی هستند که هر متن با طول دلخواه را به دنباله ای با طول ثابت تبدیل می کنند. از جمله پرکاربردترین و معروف ترین توابع درهم می توان توابع درهم ساز md4, md...
application of upfc based on svpwm for power quality improvement
در سالهای اخیر،اختلالات کیفیت توان مهمترین موضوع می باشد که محققان زیادی را برای پیدا کردن راه حلی برای حل آن علاقه مند ساخته است.امروزه کیفیت توان در سیستم قدرت برای مراکز صنعتی،تجاری وکاربردهای بیمارستانی مسئله مهمی می باشد.مشکل ولتاژمثل شرایط افت ولتاژواضافه جریان ناشی از اتصال کوتاه مدار یا وقوع خطا در سیستم بیشتر مورد توجه می باشد. برای مطالعه افت ولتاژ واضافه جریان،محققان زیادی کار کرده ...
15 صفحه اولAn Extreme Ultraviolet Spectrometer
A concept and preliminary design of an Extreme Ultraviolet (EUV) spectrometer is presented. The spectrometer is based on a gas ionization chamber and an advanced eight-electrode electron focusing system to form a narrow electron beam on a photodiode aperture. The design is modeled with the SIMulation of IONs (SIMION) tools and shows the ability to scan through the spectral range of 20.0 – 40.6 ...
متن کاملOutlier Detection Using Extreme Learning Machines Based on Quantum Fuzzy C-Means
One of the most important concerns of a data miner is always to have accurate and error-free data. Data that does not contain human errors and whose records are full and contain correct data. In this paper, a new learning model based on an extreme learning machine neural network is proposed for outlier detection. The function of neural networks depends on various parameters such as the structur...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Review of Scientific Instruments
سال: 2015
ISSN: 0034-6748,1089-7623
DOI: 10.1063/1.4922883